アイブイワークス「窒化ガリウム単結晶ウエハ製造技術」、グリーン技術認証取得

半導体素材スタートアップアイブイワークスが電力半導体源素材の窒化ガリウム単結晶ウェーハ製造技術でグリーン技術認証を取得したと明らかにした。

グリーン技術認証は炭素中立基本法に基づいて有望なグリーン技術を認証し支援する制度で、産業通商資源部、中小ベンチャー企業部など８つの省庁が評価に参加する。

今回認定された技術は、窒化ガリウム電力半導体応用製品の核心素材である窒化ガリウム単結晶ウェーハ製造技術である。既存のインゴット製造方式の代わりに水素化物気相蒸着法とIn situ separation方式を適用してウエハ歩留まりを高め、大口硬化を実現できることが特徴である。

これをベースにした垂直構造電力半導体用GaN on GaNエピウエハは、電気自動車インバータ、人工知能データセンター電源供給装置、再生可能エネルギー電力変換装置など1キロボルト級高電圧電力半導体要求仕様を満たす。同社側は、窒化ガリウムがシリコンに比べて優れた電子特性に基づいて電力変換効率を高め、エネルギー損失を低減できると説明した。

アイブイワークスは当該技術を通じて電気自動車のバッテリー性能を約20パーセント改善し、太陽光インバータ効率の向上で年間数千トン規模の二酸化炭素排出削減効果を期待できると明らかにした。また、高出力LED効率を従来比1.5倍向上させ、光電子分野の消費電力削減にも貢献できると付け加えた。

アイブイワークスは、人工光合成ベースのグリーン水素生産のための8インチ窒化ガリウムナノワイヤエピウエファー量産計画を公開した。

アイブイワークスは、電気自動車とモバイル通信の拡散による電力半導体需要の増加に対応して、高効率の窒化ガリウム素材技術を高度化し、エネルギー消費削減に貢献する方針だ。

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