ISTE、SKシルトロンに半導体自動化装置を受注

半導体機器製造企業アイエスティイがSKシルトロンを対象に自動化機器を供給する契約を締結したと6日明らかにした。

アイエスティイはサムスン電子とSKハイニックスなどグローバルIDM顧客を対象にFOUPクリーナー、FOUPインスペクション、自動化装置を提供しており、SKシルトロンやフランスSoitecなど海外ウエハーメーカーとも取引関係を維持している。

今回の受注機器は半導体生産ラインで自動ウエハ運用を支援するソーター系コンパイラで、ロボット2台とAligner2台を搭載した高効率装備だ。既存の汎用ソーター2台が行っていた工程を単一のコンパイラ装置に統合処理できることが特徴だ。

この装置は、4～10個のロードポートを装着できる300mmコンパイラで設計され、より複雑で多様なプロセス自動化をサポートする。アイエスティイは2022年SKシルトロンの特別オンデマンド装備を開発・供給し、技術力を検証したことがある。

会社関係者は「SKシルトロンは自動化装備だけでなく、FOUPクリーナーやFOUPインスペクションなど多様な装備を活用する主要顧客会社」とし、「2022年以降約3年間続いたウェーハ投資サイクル中に装備供給が持続したが、2025年に一部の投資空白で売上空白が発生した」と説明した。

続いて「最近の半導体業況回復と顧客会社の増設及び工程補完投資が再開され、今回の初めでも物量受注が成就した」とし、「今回の受注をはじめ、自動化装置を含む多様な半導体装置供給が徐々に拡大すると期待される」と付け加えた。

• 関連記事をもっと見る