コセン、APシステムとイオンビームモジュール開発のための研究開発委託契約締結

走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）ベースの融合産業装備専門企業コセン（代表取締役イ・ジュンヒ）は７日、半導体及びディスプレイ装置製造企業ＡＰシステム（２６５５２０）と半導体装置用イオンビームモジュール開発のための研究開発委託契約を締結したと明らかにした。

今回の契約により、コセムは独自のイオンエッチング技術を活用してイオンビームモジュールを開発し、該当モジュールをAPシステムに独占供給することになる。同社側は今回の協力がコセンの半導体装備市場進出の信号弾で、両社間技術融合を通じて今後の競争力強化につながると期待している。

国内半導体及びディスプレイ産業は最近、グローバル技術競争の深化により技術自立の重要性が高まっており、コセンは今回の契約が関連産業の国産化及び技術自立に寄与できると見ている。

イ・ジュンヒコセン代表理事は「今回の技術協力を通じて自社の荷電粒子光学技術基盤イオンエッチング技術を高度化し、電子顕微鏡融合装置専門企業としての立地を強化できるだろう」と話した。続いて「最近特許を取得した新素材および新技術ベースの大気圧電子顕微鏡技術を基に、様々な産業分野とのコラボレーションも推進する計画」と付け加えた。

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